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2025-04-23
三氟化氮檢測儀適用于多種工業(yè)和科研場景,特別是在需要監(jiān)測高純度氣體環(huán)境或潛在泄漏風(fēng)險的環(huán)境中。以下是對三氟化氮檢測儀適用場景的詳細分析:一、半導(dǎo)體制造行業(yè)1.原理及需求在半導(dǎo)體制造過程中,三氟化氮常用于化學(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻工藝。例如,在等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD...2021
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