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三氟化氮檢測儀適用場景分析
三氟化氮檢測儀適用場景分析

2025-04-23

三氟化氮檢測儀適用于多種工業(yè)和科研場景,特別是在需要監(jiān)測高純度氣體環(huán)境或潛在泄漏風(fēng)險的環(huán)境中。以下是對三氟化氮檢測儀適用場景的詳細分析:一、半導(dǎo)體制造行業(yè)1.原理及需求在半導(dǎo)體制造過程中,三氟化氮常用于化學(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻工藝。例如,在等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD...
  • 2021

    6-18
    可燃性氣體甲烷應(yīng)該如果監(jiān)測 甲烷(CH4)在常溫常壓下是無色、無味、無臭、無毒氣體。植物在沒有空氣的條件下腐爛以及一些復(fù)雜分子經(jīng)過斷裂最終會生成甲烷。天然氣的主要成分就是甲烷,煤礦的瓦斯氣和沼氣池中也含有大量的甲烷。甲烷(CH4)和空氣的混合氣在點燃時會發(fā)生爆炸。在空氣的體積爆炸范圍為5.3%~14.0%,質(zhì)量的爆炸范圍為35~93mg/L。甲烷與氧氣的混合氣的體積爆炸范圍為8.25%~55.8%。甲烷和氯氣(Cl2)的混合氣,收到日光直射時,也容易引起爆炸。在新鮮的空氣中甲烷的爆炸極限一般為5.3%~...
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